杏鑫招商基于大数据和人工智能的过程控制新剧


杏鑫注册登录【直属QQ32491383】应用材料(Applied Materials)公布了过程控制方面的一项重大创新,利用大数据和人工智能技术,帮助半导体制造商加速节点开发,加快创收时间,并在节点生命周期内赚取更多利润。

半导体技术正变得越来越复杂和昂贵,对世界各地的芯片制造商来说,缩短开发和部署先进节点所需的时间可能价值数十亿美金。成功是由检测和纠正缺陷的能力决定的,这些缺陷随着线宽的缩小而变得越来越困难,并将有害颗粒变成产量杀手。同样地,3D晶体管的形成和多处理技术引入了微妙的变化,这些变化可能会成倍地产生扼杀产量的缺陷,这是令人烦恼和耗时的根本原因。

应用材料(Applied Materials)正在通过一种新的过程控制剧本来解决这些挑战,该剧本旨在将大数据和人工智能技术的好处带到芯片制造技术的核心。Applied的解决方案由三个实时协同工作的元素组成,它们可以比遗留方法更快、更好、更有效地查找和分类缺陷。这三个要素是:

新光线光片检测系统:经过5年的研发,光线系统将行业领先的速度、高分辨率和先进的光学技术结合在一起,每次扫描收集更多的产量关键数据。Enlight系统架构提高了光学检测的经济性,与其他竞争方法相比,捕获关键缺陷的成本降低了3倍。通过大幅提高成本,光线系统允许芯片制造商在工艺流程中插入更多的检查点。由此产生的大数据的可用性增强了“生产线监控”和统计过程控制方法,可以在产量偏差发生前预测,马上检测偏差,从而使晶圆加工可以停止以保护产量,并实现根本原因追溯,以加速纠正措施和恢复大批量生产。

新ExtractAI技术:由Applied企业的数据科学家开发,杏鑫招商ExtractAI Technology解决了晶圆检测中最困难的问题:能够快速、准确地从高端光学扫描仪产生的数百万恼人信号或“噪音”中区分出杀死产量的缺陷。ExtractAI业内唯一的解决方案是创建一个实时大数据之间的连接产生的光学检测系统和eBeam审查系统分类具体产生信号,这样的推论,光线影业系统解决了在晶片地图上所有的信号,区分收益率杀手从噪音。提取技术非常高效;它在审查了0.001%的样品后,就能描述晶圆图上的所有潜在缺陷。结果是一个可操作的分类缺陷地图,加速半导体节点发展,斜坡和良率。人工智能技术具有适应性,能够在大批量生产中快速识别新的缺陷,并随着扫描的晶片数量的增加,逐步提高其性能和有效性。

SEMVision电子波束检查系统:SEMVision系统是目前世界上最先进、应用最广泛的电子波束检查技术。SEMVision系统凭借其行业领先的解决方案,使用ExtractAI技术训练光线系统,对产量扼杀缺陷进行分类,并从噪声中区分缺陷。通过实时合作,Enlight系统、ExtractAI技术和SEMVision系统可以帮助客户在生产流程中发现新的缺陷,从而提高产量和盈利能力。SEMVision G7系统的大型安装基础已经与新的Enlight系统和ExtractAI技术兼容。

VLSIresearch董事长兼首席实行官Dan Hutcheson表示:“能够快速、杏鑫总代理准确地从噪音中识别出影响产量的缺陷,是fab工程师们30多年来一直在努力解决的问题。“应用材料企业的光线系统与ExtractAI技术是解决这一挑战的突破性方法,因为该系统使用的AI越来越智能,它有助于芯片制造商随着时间的推移增加每个晶圆的收入。”

Applied Materials集团副总裁兼图像和过程控制总经理Keith Wells表示:“Applied的过程控制新playbook结合了大数据和人工智能,提供了一个智能和适应性的解决方案,加速了大家客户的时间,以实现最大产量。”“通过结合大家最好的光学检测和eBeam审查技术,大家创造了业界唯一的智能解决方案,不仅可以检测和分类产量关键缺陷,还可以实时学习和适应工艺变化。这种独特的能力使芯片制造商能够更快地扩展新的工艺节点,并在整个工艺生命周期内保持高的产量关键缺陷捕获率。”

采用ExtractAI技术的新Enlight系统是Applied企业历史上速度最快的检测系统,并已在全球领先的foundry-logic客户的生产中得到应用。SEMVision系统20多年来一直是业界领先的电子光束评估系统,在全球各地的客户工厂拥有超过1500套系统。


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