杏鑫资金支撑了超高速高通量原子力显微镜的发


杏鑫注册登录【直属QQ304-724】荷兰代尔夫特的Nearfield Instruments B.V.企业已经找到了两家投资者,使Nearfield Instruments开始开发其首个用于高级ICs计量的超快高通量原子力显微镜(HT-AFM)系统。SAMSUNG风险投资企业和创新产业是荷兰的一个高科技创新投资基金,共投资1000万欧元。

近场仪器是荷兰应用科学研究组织的一个副产品,该组织仍将是近场仪器的股东。

原子尺度的维度

世界迫切需要更强大、更节能的移动设备和计算机系统电子产品。为了实现新的功能,杏鑫代理并使现有晶圆空间得到最佳利用,集成电路(IC)器件将使用新颖、敏感的材料和新设计的全三维结构收缩到原子尺寸。为了在技术上和经济上可行的方式适应这些趋势,需要在IC器件开发和制造的计量过程和设备上取得突破。没有它,摩尔定律就会走到尽头。摩尔定律是指高密度集成电路中晶体管的数量大约每两年翻一番。

原子力显微镜速度可达1000倍

原子力显微镜(AFM)是一种著名的成像最小特征的技术,经常用于研究。AFM系统使用一个原子锐利的探针扫描(但不接触)被调查样品的表面,以感知其上的图案。然而,AFM一直被认为对于工业应用来说太慢了。五年前,TNO启动了NOMI(纳米光电机电仪器仪表)项目,该项目将科学研究与应用技术相结合,带来了多种改进,有可能使AFM比传统AFM技术快1000倍。这使得Nearfield Instruments的AFM解决方案成为半导体行业的主要兴趣。

Hamed Sadeghian博士,TNO的首席科学家和NOMI的科学领袖:“这项革命性的专利架构是基于AFM的并行化。并行化是通过将AFM小型化并同时操作多个AFM来实现的。该仪器的优点是每个微型原子力显微镜都可以独立操作,可以同时测量多个物理参数;当一个微型原子力显微镜测量纳米尺度的地形时,另一个仪器可以测量机械、电气或热性能,使其成为一个仪器上的实验室。关键是将AFM小型化到火柴盒大小,杏鑫招商通过缩短计量环,实现非常高的测量带宽和非常高的纳米成像稳定性。”

TNO分拆

为了加快这种高通量AFM的市场推广,TNO于2016年在荷兰代尔夫特成立了子企业Nearfield Instruments B.V.。在接下来的几年里,近场仪器企业将把HT-AFM开发成半导体市场上可行的产品。近场仪器企业首席实行官Roland van Vliet博士评论道:“大家的新合作伙伴SAMSUNG风险投资企业和创新产业企业的支撑和承诺为大家近场仪器企业提供了正确的专业常识和势头,以实现行业水平的原子尺度计量。大家将共同推动半导体行业朝着更强大、更节能的电子产品不断努力。”


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