杏鑫第一批货-高通量扫描探头计量系统


杏鑫注册登录【直属QQ304-724】Nearfield Instruments B.V.宣布第一批QUADRA,第一代高通量扫描探针计量系统,适用于5 nm及更远的节点。第一台QUADRA已经交付给一个未披露的客户,它演示了成功的多头操作,在先进的DRAM和逻辑器件晶片上测量具有高宽比的密集结构。

QUADRA是NFI的第一款产品,是一种高通量扫描探头计量系统(HT-SPM),杏鑫代理杏鑫招商能够实现在线三维过程控制计量的全新方法。QUADRA提供独特的,埃级的精确和非破坏性的高宽比三维测量,即使在最具挑战性的关键层,如栅极和FinFET结构。

QUADRA独特的结构特点是并行独立的多头操作,能够非常快速和准确地定位和对齐。这使得QUADRA的吞吐量比其他用于在线计量应用的自动化单探头AFM计量工具有100倍的优势。QUADRA的高采样率使客户能够实行在线工艺监控,并确定批次到批次、晶圆到晶圆和晶圆内的工艺变化。

QUADRA还包括一种新的独特的成像模式,称为前馈轨迹规划器(FFTP)。这使得QUADRA能够对高密度结构进行设备上的非破坏性测量,这些结构具有高宽比,适用于内存(1z及以上)和逻辑器件(3nm及以上)。

Nearfield Instruments企业计划增加扫描头的数量,并扩展其3D成像能力,以适应芯片制造商不断变化的产品路线图需求。

近场仪器企业总裁兼首席技术官Hamed Sadeghian评论道:“随着每一个新技术节点的关键维度不断缩小,并变得更加三维化,计量学的相对重要性增加了。现在的环境是,每个芯片中都需要数十亿个这样的设备,而且所有的设备都必须按照严格的规范工作。大家新的三维测量系统QUADRA可以解决一些关键的测量挑战,特别是对宽比高的窄沟槽,杏鑫招商并在生产环境要求的吞吐量下进行测量。从这个意义上说,QUADRA标志着AFM使用模式的转变。我很高兴,经过多年的发展,QUADRA现在成熟了,并已被运往一个主要的半导体工厂。”

Nearfield Instruments B.V. (NFI)成立于2016年1月。NFI是一家半导体计量设备企业,为全球先进的半导体集成电路制造行业开发并提供突破性的过程控制计量解决方案。


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